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半导体暨精密洗净设备
 产品介绍
水柱式
水柱式
特性:

产品型号:水柱式Mega Spot Shower

产品名称:水柱式Mega Spot Shower

产品说明:
适用于CMP、硬碟、矽晶圆、光碟片之精密洗净

特性说明:
Mega Spot Shower(水柱式)于流水中导入1秒钟/1佰万次的振荡(MEGA SONIC),并藉由水中高频超音波产生之物理现象(微涡流)去除微粒子,达到精密洗净之需求。

适用产品:
1、各厂牌规格之MS SHOWER(水濂式)振子重修再生使用
2、各厂牌规格之Single Wafer(水柱式)振子重修再生使用
3、Single Wafer(水柱式)振子及POWER SUPPLY贩售
4、协助业界超音波系统测试、教育训练、技术讨论

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