超声波清洗在半导体行业中的应用
清洗产品:
二极管、硅片等
主要清洗物质:
细小尘埃颗粒
工艺难点:
1. 超声波可能会损伤半导体零件
2. 半导体零件对洁净度要求高
解决方法:
采用高频超声清洗